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MSB系列中頻濺射電源

產(chǎn)品特點(diǎn) 主要參數(shù) 型號(hào)定義資料下載

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產(chǎn)品編號(hào)

產(chǎn)品系列:

數(shù)量

庫存:

所屬分類

濺射電源



產(chǎn)品描述

參數(shù)

型號(hào)定義

主要參數(shù)

● 機(jī)架式安裝方式
● 快速的電弧響應(yīng)，響應(yīng)時(shí)間＜100ns
● 低能量儲(chǔ)存，＜0.5mJ/kW
● 采用多相交錯(cuò)PFC技術(shù)，功率因數(shù)高達(dá)0.95
● 輸出模式多樣，可實(shí)現(xiàn)連續(xù)、斷續(xù)模式可選擇
● 逆變回路采用全軟開關(guān)技術(shù)，采用第三代半導(dǎo)體SiC作功率器件，效率優(yōu)異

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MSD系列濺射電源

MSB系列

MSB系列中頻濺射電源

英杰電氣中頻濺射電源憑借優(yōu)異的波形調(diào)制技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)輸出直流、直流脈沖、雙向方波、雙向梯型波等波形。產(chǎn)品具有輸出波形可調(diào)，輸出頻率可選，占空比可調(diào)，功率控制精準(zhǔn)，以及低能量存儲(chǔ)和快速的電弧反應(yīng)。為鍍膜工藝提供便利、精準(zhǔn)的控制。產(chǎn)品主要應(yīng)用于各種薄膜制造工藝，太陽能電池片行業(yè)，真空鍍膜行業(yè)；應(yīng)用工藝：磁控濺射工藝、孿生靶濺射、管式PECVD。

產(chǎn)品特點(diǎn)

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主要參數(shù)

輸入	輸入電壓：3AC380V、50/60Hz	功率等級(jí)：20kW
輸入	輸出路數(shù)：2路
輸出	最大輸出電流：50A*2	最大輸出電壓：600V*2
技術(shù)指標(biāo)	功率因數(shù)：0.95	轉(zhuǎn)換效率：94% 額定狀態(tài)下±0.5%
	調(diào)節(jié)精度：±0.5%	電弧響應(yīng)時(shí)間：<100ns
	尺寸：4U	通訊：標(biāo)配RS485/RS232(可選配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)
注：產(chǎn)品不斷創(chuàng)新，性能繼續(xù)提升，本參數(shù)說明僅供參考。

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