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300820

RMC系列匹配器

產(chǎn)品特點主要參數(shù) 型號定義資料下載

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產(chǎn)品編號

產(chǎn)品系列:

數(shù)量

庫存:

所屬分類

射頻電源



產(chǎn)品描述

參數(shù)

型號定義

主要參數(shù)

● 全數(shù)字控制，匹配精度高，匹配時間短
● 采用真空電容，可靠性高，使用壽命長
● 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，安裝便捷
● 超寬匹配范圍，可定制適配任意負載
● 具有手動/自動匹配功能
● 具有保持和預(yù)置設(shè)定功能
● 具有通訊功能，可獨立連接上位機實時顯示負載狀態(tài)

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RLS系列射頻電源

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RMA系列匹配器

RMC系列

RMC系列匹配器

適用于光伏產(chǎn)業(yè)、平板顯示器行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、化工業(yè)、實驗室、科研、制造業(yè)等領(lǐng)域。適用于等離子體增強化學(xué)氣相沉積（PECVD)、等離子體刻蝕、等離子體清洗、射頻離子源、等離子體擴散、等離子體聚合濺射、反應(yīng)濺射等工藝。

產(chǎn)品特點

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主要參數(shù)

輸入	控制電壓：AC230V±10% 或 DC24V	輸入接口：N型、HN、7/16
	頻率：13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz	傳輸功率：1.5kW～6kW
	射頻輸出電壓：4000Vpeak	射頻輸出電流：25Arms～120Arms
輸出	輸出接口：7/16、B20N、銅排, 其他規(guī)格可定制
性能指標(biāo)	匹配時間：A系：端對端＜5s ,預(yù)設(shè)點到匹配點 1s~3s C系：端對端＜3s ,預(yù)設(shè)點到匹配點 0.3s~2s	駐波：A系：＜1.2 C系：＜1.1
	阻抗實部：1Ω～200Ω	阻抗虛部：+200j～-200j
	負載類型：ICP 或 CCP	外形尺寸：根據(jù)客戶要求定制
注：產(chǎn)品不斷創(chuàng)新，性能繼續(xù)提升，本參數(shù)說明僅供參考。

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